Этот заказ уже выполнен на сервисе Автор24
На нашем сайте вы можете заказать учебную работу напрямую у любого из 72000 авторов, не переплачивая агентствам и другим посредникам. Ниже приведен пример уже выполненной работы нашими авторами!
Узнать цену на свою работу

Разработка рекомендаций по улучшению воспроизводимости автоматизированных процессов ионного легирования в установках с поштучной обработкой

Номер заказа
363621
Создан
1 июня 2017
Выполнен
8 июня 2017
Стоимость работы
2000
Помоги! Срочно выполнить дипломную работу по автоматизации технологических процессов. Есть буквально 7 дней. Тема работы «Разработка рекомендаций по улучшению воспроизводимости автоматизированных процессов ионного легирования в установках с поштучной обработкой».
Всего было
12 предложений
Заказчик выбрал автора
Этот заказ уже выполнен на сервисе Автор24
На нашем сайте вы можете заказать учебную работу напрямую у любого из 72000 авторов, не переплачивая агентствам и другим посредникам. Ниже приведен пример уже выполненной работы нашими авторами!
Узнать цену на свою Дипломную работу
Или вы можете купить эту работу...
Страниц: 81
Оригинальность: Неизвестно
2000
Не подошла
данная работа?
Вы можете заказать учебную работу
на любую интересующую вас тему
Заказать новую работу

Дипломная работа включает в себя: много рисунков, таблиц, схем и расчётов.

Тема: Разработка рекомендаций по улучшению воспроизводимости автоматизированных процессов ионного легирования в установках с поштучной обработкой

Введение - 4 страницы;
Список литературы - 18 источников;
Заключение - 2 страницы.
Введение
Ионная имплантация, т.е. внедрение ускоренных атомов или молекул в виде ионизированных частиц в твердые тела с целью изменения их физических и химических свойств, нашла широкое применение в промышленности. Наибольшего успеха и развития ионная имплантация достигла в микроэлектронике – в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем, так как обеспечивала несомненные преимущества по сравнению с традиционными методами внедрения примеси (диффузией, сплавлением, легированием из расплава и др.). метод ионной имплантации был запатентован Шокли в 1954 г. В начале 60-х годов ионной имплантацией были получены первые лабораторные электронно-дырочные переходы (p-n-переходы) с хорошими характеристиками. Однако прошло еще десятилетие, прежде чем метод ионной имплантации вышел за пр Показать все
Оглавление
Введение…………………………………………………………………….3
Глава 1. Процессы ионного легирования при изготовлении интегральных схем………………………………………………………………..7
1.1. Маршрут изготовления ИС…………………………………………7
1.2. Особенности процесса ионного легирования………………… 20
1.3. Оборудование ионного легирования. Требования к установкам.25
Глава 2. Особенности установок для автоматизации процессов ИЛ…33
2.1. Оборудование ИЛ с поштучной обработкой пластин……………..33
2.2. Устройство, принцип работы, контроль дозы ИЛ………………....38
2.3. Косвенные методы контроля дозы………………………...………..48
2.4. Оборудование для контроля. Понятие контрольной карты…...…..53
Глава 3. Воспроизводимлсть процессов ИЛ с поштучной обработкой.62
3.1.Исследование влияния вакуума на воспроизводимость процессов.62
3.2. Изучение влияния тока пучка на в Показать все
Список использованной литературы
1. Боголепов В. Н. Последовательность изготовления КМОП интегральной схемы . Зеленоград 2005г.
2. Пранявичюс Л., Дудонис Ю. Модификация свойств твердых тел ионными пучками. – Вильнюс: Мокелас, 1980-180с.
3. Риссел Х., Руге И. Ионная имплантация/ Пер. с англ. Под ред. М. И. Гусевой – М.: Наука, 1993 – 360с.
4. Анищенко Л. М., Дружинин А. В., Углов А. А. Ионное легирование полупроводников и его применение/ Физика и химия обработки материалов. – 1982 - №4. – С. 3-19.
5. Карацюба А. П. Ионная имплантация и технологии кремниевых приборов и интегральных схем/ Зарубежная электронная техника. – 1978. - №19. – С. 47-80.
6. Карацюба А. П. Новая область применения ионной имплантации в твердотельной электронике/ Зарубежная электронная техника. - 1978. - №19. – С. 3-46 Показать все
Степень его фокусировки зависит как от степени компенсации пространственного заряда, так и от разброса поперечных тепловых скоростей ионов. Для этой цели вводятся понятия эффективного эмиттанса и яркости пучка. Особенно важны эти параметры для установок, использующих острофокусированные ионные пучки для целей безрезистной ионной литографии – имплантографии. В промышленных имплантационных установках эти понятия применяют при проектировании и расчетах систем транспортировки пучка, ионно-оптических элементов его формирования и будут подробно рассмотрены в соответствующих главах.Дисперсия и разрешающая способность – параметры, определяющие частоту ионных пучков. Дисперсия Dм определяется как расстояние ∆x между двумя соседними пучками с массой ионов соответственно М и М+∆М, а точнее, из услов Показать все
Автор24 - это фриланс-биржа. Все работы, представленные на сайте, загружены нашими пользователями, которые согласились с правилами размещения работ на ресурсе и обладают всеми необходимыми авторскими правами на данные работы. Скачивая работу вы соглашаетесь с тем что она не будет выдана за свою, а будет использована исключительно как пример или первоисточник с обязательной ссылкой на авторство работы. Если вы правообладатель и считаете что данная работа здесь размещена без вашего разрешения - пожалуйста, заполните форму и мы обязательно удалим ее с сайта. Заполнить форму
Оценим бесплатно
за 10 минут
Эта работа вам не подошла?
У наших авторов вы можете заказать любую учебную работу от 200 руб.
Оформите заказ и авторы начнут откликаться уже через 10 минут!
Заказать дипломную работу
Другие работы по этому предмету
Цифровой регулятор освещенности
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 3000 руб.
Методология, теория и практика педагогического проектирования (дипломная работа)
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 222 руб.
автоматизация дробильного участка отделения подготовки сырья и шихты медеплавильного цеха ОАО «СУМЗ»
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 1500 руб.
Проект автоматизации бизнес-процессов ООО «ЖЭУ
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 3500 руб.
Проект реконструкции участка по ремонту двигателей в условиях г. Искитима НСО МУП Горводоканал
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 2800 руб.
Обратимые конечные автоматы с входной памятью
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 1500 руб.
Автоматизированная линия обработки шестерни с разработкой на станках с ЧПУ
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 2000 руб.
Проект центра по проведению автотехнической экспертизы с разроботкой цеха по ремонту кузовов легковых автомобилей
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 2800 руб.
Автоматизация Дробильного комплекса №1 ПАО
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 2240 руб.
Диплом Автоматизация насосной станции
Дипломная работа, Автоматизация технологических процессов
Стоимость 2000 руб.