‐ выращивания полупроводникового слитка по методу Чохральского

Как заказчик описал требования к работе:

Задание: - проанализировать заданную операцию, - рассмотреть варианты технологических движений, - предложить механизмы, обеспечивающие выполнение операции, - представить технологическую схему операции

Фрагмент выполненной работы:

Введение Выращивание полупроводниковых слитков необходимо для применения в электронных приборах, интегральных микросхемах (ИС), в том числе, сверхбольших (СБИС), миниатюрных электромеханических системах (МЭМС) и изделиях наноинженерии. Причем существует много методов выращивания монокристаллов. К которым можно отнести выращивание из раствора в расплаве (спонтанная кристаллизация), метод Вернейля, метод Бриджмена, метод Чохральского, метод зонной плавки, гидротермальное выращивание, метод твердофазной рекристаллизации. (работа была выполнена специалистами Автор 24) Практически все они характеризуются использованием монокристаллических затравок, так называемом гомоэпитаксиальном выращивании. Другая часть методов применяет методы гетероэпитаксии, то есть выращивании на поверхностях подходящих по кристаллографическим параметрам. Однако следует учесть, что гетероэпитаксия создает загрязненные флюсами и имеющими множество микронапряжений кристаллов, которые не поддерживают необходимой чистоты и соответственно времени жизни носителей заряда в кристалле. В отличии же гомоэпитаксия создает кристаллы с регулируемым количеством примесей. Также нужно подчеркнуть, что выращивание из монокристаллических затравок не требует дорогостоящих платиновых тиглей. Это значительно удешевляет экономически процесс вытягивания кристалла затравочными методами. И одним из наилучших представителей гомоэпитаксии является методика Чохральского. Ее рассмотрению и посвящена пояснительная записка к ДЗ-1, согласно задания, выполненному по учебной дисциплине «проектирование технологического оборудования». В ходе выполнения ДЗ-1 были: - выявлены технологические движения, необходимые для выполнения процесса выращивания слитка методом Чохральского; - рассмотрены функции механизмов; - предложены и проанализированы схемы возможных вариантов исполнения этих механизмовПосмотреть предложения по расчету стоимости